Ekipmanlar
- Fosfor/ Boron Katkılanması/ Difüzyon (POCl3, BBr3, vs.) için Yatay Difüzyon Fırınları
- SixNy yansıma önleyici kaplama ve pasifleştirme için Yatay PECVD Fırını
- Yüksek Saflıkta Gazlar için Otomatik/Manual Gaz Kabinleri (SiH4, NH3, O2, vs.)
- Birçok fırına ve/veya diğer ekipmanlara bağımsız Gaz/Sıvı hattı için Otomatik/Manual Valf Manifold Kutuları
- Fırın Gaz Verici Kapları için Otomatik Kontrol Aygıtları (POCL3/BBr3, vs.)
- Otomatik fırın gaz verici kaplarının yeniden doldurulması için Bulk Sıvısı Ortam İletimi
- Sulu/Islak Oksidasyon için Yazay Difüzyon Fırınları (pasifleştirme, emitör maskeleme ve üretim sistemindeki diğer talepler için)
Uniformluk (minimum garanti)
Opsiyonlar
Wafer Dağıtım Otomosyonu (Wafer Transfer Sistemi, Boat Asansörü, Stocker, vs.)
Gaz Kabinleri
Gas Kabinleri ve Valf Manifold Kutuları
İşlem Gazları : SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2, H2, Ar, O2, N2O, N2, vb.
Aktarma Hızı : Boş olan gaz silindirleri dolu olan gaz silindiri ile otomatik olarak yer değiştirebilmektedir. Bu sayede Gaz Kabinleri duşuk ve buyuk
miktarda gaz partikullerini surekli ve kesilmeden sağlayabilmektedir.
Sıcaklık Kontrol Cihazı
Isıtma/Soğutma : +50/-20 C Rölatife Sıcaklıktan Ortam Sıcaklığına
Sıcaklık Kontrol Stabiletesi :0.1 °C
Stabilite Olma Zamanı : Maksimum 2 saat